聚酰亚胺静电柔性振膜型微泵和相关键合工艺学术

摘要5-7

ABSTRACT7-13

第一章 绪论13-20

1.1 探讨背景13-16

1.1.1 微机电系统13-15

1.1.2 微泵15

1.1.3 静电柔性振膜微泵的探讨近况15-16

1.2 文探讨的目的、内容和策略16-20

1.2.1 探讨目的及作用16-17

1.2.2 静电振膜微泵的论述建模浅析17-19

1.2.3 静电振膜微泵的封装键合工艺19-20

第二章 静电柔性振膜微泵的论述建模浅析20-39

2.1 引言20-21

2.2 Saif 模型及最小能量法21-23

2.3 双腔静电微泵的建模23-29

2.3.1 基本检测设23-24

2.3.2 论述建模思想24

2.3.3 论述计算推导24-26

2.3.4 算例26-27

2.3.5 比较27-29

2.4 参数讨论29-31

2.4.1 振膜厚度29

2.4.2 介电层29-31

2.5 优化31-38

2.5.1 双驱动方式31-32

2.5.2 腔体型线对压缩性能的影响32-35

2.5.3 凸起型腔体讨论35-38

2.6 本章小结38-39

第三章 微泵的键合工艺39-68

3.1 微泵封装键合工艺39-43

3.1.1 键合粘结剂39-41

3.1.2 热固性粘结剂ATSP 的配制原理41-43

3.2 ATSP 的研制步骤和策略43-53

3.2.1 d-HQ 的制取45-46

3.2.2 d-HBA 的制取46-47

3.2.3 HQDA 的制取47-49

3.2.4 ABA 的制取49

3.2.5 A-1 的制取49-51

3.2.6 C-1 的制取51

3.2.7 ATSP 的配制51-52

3.2.8 ATSP 研制小结52-53

3.3 ATSP 键合试验53-66

3.3.1 ATSP 的旋涂工艺54-56

3.3.2 基于ATSP 的键合试验56-59

3.3.3 键合效果和强度测试59-62

3.3.4 键合试验比较62-63

3.3.5 键合试验小结63-66

3.4 本章小结66-68

第四章 总结与展望68-75

4.1 课题探讨工作概述和探讨成果68-69

4.1.1 静电柔性振膜微泵的论述建模浅析68-69

4.1.2 微泵的制造和封装键合工艺69

4.2 探讨展望69-75

致谢75-76

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