摘要3-4
Abstract4-9
第1章 引言9-19
1.1 纳米薄膜材料9
1.2 纳米多层膜介绍9-11
1.3 纳米多层膜的力学性能11-18
1.3.1 探讨进展12-14
1.3.2 主要论述14-18
1.4 本论文的探讨思路与内容18-19
第2章 实验策略19-28
2.1 多层膜制备19-21
2.1.1 基片选择与处理19
2.1.2 磁控溅射19-20
2.1.3 电子束蒸发20-21
2.2 多层膜结构浅析21-23
2.2.1 X 射线荧光谱浅析21-22
2.2.2 X 射线衍射浅析22
2.2.3 俄歇电子探针22-23
2.2.4 扫描电子显微镜23
2.2.5 透射电子显微镜23
2.3 纳米压痕测试23-26
2.3.1 纳米压痕测量原理24-25
2.3.2 连续刚度测试25-26
2.4 电学性能测试26-28
第3章 Nb/Ti 多层膜的力学性能28-45
3.1 Nb/Ti 多层膜的设计28-29
3.2 Nb/Ti 多层膜的制备29
3.3 Nb/Ti 多层膜的热处理29
3.4 Nb/Ti 多层膜的测试结果29-41
3.4.1 薄膜厚度测试与元素成分浅析29-30
3.4.2 小角度 X 射线衍射30-32
3.4.3 高角度 X 射线衍射32-35
3.4.4 SEM 形貌观察35-37
3.4.5 AES 元素浅析37-38
3.4.6 表面电阻率测试38-39
3.4.7 力学性能测试39-41
3.5 Nb/Ti 多层膜实验结果浅析41-44
3.5.1 制备态 Nb/Ti 多层膜的力学性能浅析41-42
3.5.2 退火态 Nb/Ti 多层膜的力学性能浅析42-44
3.5.3 Nb/Ti 多层膜的热稳定性44
3.6 本章小结44-45
第4章 Ni/Ta 多层膜的力学性能45-60
4.1 Ni/Ta 多层膜的设计45
4.2 Ni/Ta 多层膜的制备45-46
4.3 Ni/Ta 多层膜的测试结果46-54
4.3.1 小角度 X 射线衍射46-47
4.3.2 高角度 X 射线衍射47-49
4.3.3 TEM 截面形貌观察49-53
4.3.4 力学性能测试53-54
4.4 Ni/Ta 多层膜实验结果浅析54-59
4.4.5 硬度变化机制56-58
4.4.6 弹性模量变化机制58-59
4.5 本章小结59-60
第5章 Ag/Ta 多层膜的力学性能60-71
5.1 Ag/Ta 多层膜的设计60-61
5.2 Ag/Ta 多层膜的制备61
5.3 Ag/Ta 多层膜的测试结果61-65
5.3.1 小角度 X 射线衍射61-62
5.3.2 高角度 X 射线衍射62-63
5.3.3 TEM 截面形貌观察63-65
5.3.4 力学性能测试65
5.4 Ag/Ta 多层膜实验结果浅析65-69
5.5 本章小结69-71
第6章 结论71-73