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摘要：三维腹腔镜由多组镜片组成,要求其透过率高、成像不失真。其使用要求,选择合适的薄膜,电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件设计分析,调整镀膜工艺参数,光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,在多组镜片上制备增透膜。经测试：制备的膜层在400-700nm波段的平均反射率小于0.5%颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,医用光学仪器的使用要求。关键词：三维腹腔镜论文光学增透膜论文真空镀膜论文离子辅助沉积论文
摘要4-5
Abstract5-6
目录6-7
章 绪论7-11
1.1 腹腔镜及光学薄膜的发展概述7-10
1.2 腹腔镜的研究背景及内容10-11
章 薄膜光学基本理论11-24
2.1 电磁波理论11-12
2.2 薄膜干涉原理12-16
2.3 单层薄膜的特性矩阵和导纳16-19
2.4 多层薄膜的特性矩阵和导纳19-22
2.5 光学薄膜的特性矩阵22-24
章 三维腹腔镜增透膜的选择24-29
3.1 基底24-26
3.2 膜层的选取26-29
章 三维腹腔镜的膜系设计29-35
4.1 膜系设计的基本理论29-31
4.2 膜系设计的优化原理31-33
4.3 膜系的确定33-35
第五章 三维腹腔镜的膜系制备35-44
5.1 薄膜设备35-37
5.2 离子辅助沉积技术37-38
5.3 膜层监控的影响38-39
5.4 工艺因素的影响39-41
5.5 膜层的制备41-44
第六章 实验数据与测试结果分析44-48
48-49
致谢49-50