本站原创摘要5-6
ABSTRACT6-8
致谢8-15
第1章 绪论15-21
1.1 探讨背景15-16
1.2 国内外探头的探讨进展16-19
1.3 本课题探讨的目的、作用、主要内容及其来源19-21
1.3.1 目的作用19-20
1.3.2 主要内容20
1.3.3 课题来源20-21
第2章 模拟式探头系统的工作原理21-30
2.1 二维角度测量系统的工作原理21-27
2.1.1 DVD 激光读取头感测原理21-22
2.1.2 四象限光电传感器22-23
2.1.3 自动准直仪的原理23-24
2.1.4 二维角度测量系统24-27
2.2 一维位移测量系统的工作原理27-30
2.2.1 干涉测量原理27-28
2.2.2 Michelson 激光干涉仪工作原理28-30
第3章 模拟式探头系统的构建30-36
3.1 模拟式探头的组件介绍30-33
3.1.1 传感器组件的选用30-31
3.1.2 探头调整机构的设计31-32
3.1.3 探头悬浮机构的设计32-33
3.1.4 测杆与测球的选取33
3.2 探头结构参数33-34
3.3 探头组装34
3.4 探头数据采集与处理系统34-36
3.4.1 数据采集卡、接线盒与屏蔽电缆的选取35
3.4.2 数据采集及处理系统的软件35
3.3.3 数据采集与处理系统构建35-36
第4章 模拟式探头的性能测试及改善36-57
4.1 探头三轴量程测试36-40
4.1.1 DVD 激光读取头四象限角度线性范围的测试36-37
4.1.2 模拟式探头水平方向线性范围的测试37-38
4.1.3 DVD 激光读取头内部四象限传感器的改善38-39
4.1.4 模拟式探头垂直方向线性范围的测试39-40
4.2 探头稳定性测试40-45
4.2.1 探头的工作环境40-41
4.2.2 探头三轴信号噪声测试41-42
4.2.3 探头分辨力的测试42-43
4.2.4 探头三轴信号漂移测试43-45
4.3 探头三轴重复性测试45-53
4.3.1 探头零点重复性的测试45-46
4.3.2 二维角度系统重复性的测试46-48
4.3.3 Michelson 激光干涉仪重复性的测试48-51
4.3.4 实验数据浅析51-53
4.4 探头接触力与各向同性实验53-56
4.4.1 测力计的开发53-54
4.4.2 测力计的标定54-55
4.4.3 探头测力实验55-56
4.5 本章小结56-57
第5章 纳米三坐标测量机模拟式探头的标定57-64
5.1 三维空间坐标转换模型的建立57-59
5.2 基于整体最小二乘法的空间直角坐标转换参数的求解59-61
5.2.1 整体最小二乘原理的论述思想59
5.2.2 坐标转换参数的求解59-61
5.3 标定试验与验证61-63
5.3.1 标定实验的建立61
5.3.2 参数标定61-63
5.4 结论63-64
第6章 纳米三坐标测量机模拟式探头的误差浅析64-69
6.1 纳米三坐标测量机模拟式探头静态误差源浅析64-66
6.1.1 内部传感器的误差64
6.1.2 阿贝误差64-65
6.1.3 安装误差65
6.1.4 测量环境对模拟探头系统的影响65-66
6.2 纳米三坐标测量机模拟式探头动态误差源浅析66-69
6.2.1 预行程的影响66
6.2.2 动态有效作用直径66-67
6.2.3 摩擦引起的误差67
6.2.4 示值误差67
6.2.5 探测速度的影响67-69
第7章 探讨总结与工作展望69-71
7.1 探讨总结69
7.2 工作展望69-71